探针台手动测试晶圆忆阻器失效分析IV测试光电流测试Mapping架探针座

◆TDR系列探针台包括探针台面板，探针架，探针定位器，恒温样品台，样品位移系统，显微成像系统等组成，模块化设计，后期方便升级满足不同应用要求

◆大可用于12寸以内样品测试

◆探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节

◆兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试

◆探针采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计

◆PID控温，可加热至300℃，控温精度±1℃，有效区域温度均匀性±5℃

◆1微米以上电极/PAD使用

◆加宽探针架，可以放置6个DC探针座/4个RF探针座

◆全系列搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式

◆多被用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等